仪器名称：探针台

英文名称：Manual Probe Station

仪器编号：YQ2015008707

所属单位：理学院

生产厂家：MicroXact, Inc.

规格型号：MicroXact-SPS-2200

价值（万元）：21.75

购置日期：2015年12月7日

主要技术指标：全手动平台行程为225mm x 225mm，定位分辨率 3μm.

主要功能：半导体器件参数测试

仪器地点：1#教学楼B座1207

联系人：张涛

电子邮箱：tzhang#xust.edu.cn