仪器名称：光刻机

英文名称：Mask Aligner

仪器编号：YQ2015008856

所属单位：理学院

生产厂家：SUSS

规格型号：SUSS-MJB4

价值（万元）：73

购置日期：2015年12月7日

主要技术指标：支持6英寸晶圆；对准精度±0.5μm；最小分辨率0.8μm，可接触/接近曝光模式。

主要功能：用于薄膜微纳器件、MEMS 结构光刻制备

仪器地点：1#教学楼B座1207

联系人：张涛

电子邮箱：tzhang#xust.edu.cn