仪器名称：湿法刻蚀显影机

英文名称：Wet Etching and Developing System

仪器编号：TY2018002060

所属单位：理学院

生产厂家：LAURELL

规格型号：LAURELL，EDC-650Hz-8NPPB

价值（万元）：51.3

购置日期：2018年7月17日

主要技术指标：转速0~6000 rpm；可精准控制喷液、时间、转速，自带氮气干燥功能。

主要功能：用于光刻显影、薄膜湿法刻蚀、样品清洗图形化加工

仪器地点：1#教学楼B座1207

联系人：张涛

电子邮箱：tzhang#xust.edu.cn