仪器名称：电子束蒸发设备

英文名称：Electron Beam Evaporation System

仪器编号：YQ2015008596

所属单位：理学院

生产厂家：沈阳科学仪器股份有限公司

规格型号：DZS-500

价值（万元）：35

购置日期：2015年12月7日

主要技术指标：极限真空≤6.67×10⁻⁵Pa，4工位水冷旋转坩埚；样品台最高加热 800℃，支持 4 英寸基片旋转.

主要功能：金属电极薄膜（Au、Pt、Al、Cr、Ni 等）蒸发沉积

仪器地点：1#教学楼B座1207

联系人：张涛

电子邮箱：tzhang#xust.edu.cn