仪器名称：半导体器件分析仪

英文名称：Semiconductor Device Analyzer

仪器编号：TY2015000093

所属单位：理学院

生产厂家：Keithley Instruments, Inc.

规格型号：吉时利4200-SCS/F

价值（万元）：35.5

购置日期：2015年12月23日

主要技术指标：集成SMU 与 CVU 模块，最低电流测量 10fA，支持 I-V、C-V、脉冲 I-V 测试

主要功能：半导体器件、薄膜、MEMS 与压电材料电学参数表征

仪器地点：1#教学楼B座1207

联系人：张涛

电子邮箱：tzhang#xust.edu.cn